دانلود فایل با شمار فاکتور

لطفا شماره فاکتور خود را درج نمایید


عنوان محصول: پژوهشی در زمینه تکنولوژی فرایند SiGe/Si HBT

دسته‌بندی: مقالات ترجمه شده رشته الکترونیک
تاریخ انتشار: چهارشنبه 15 دي 1395
توضیحات مختصر: SiGe/Si HBT یک دستگاه مبتنی بر Si جدیدی است که در مقایسه با BJT، SiGe/Si HBT دارای چندین مزیت شامل بهره ی جریان بالا، مشخصه ی فرکانس عالی و نویز کمتر است و مهندسی باند انرژی و مهندسی دوپینگ (ناخالص سازی) معرفی شده، آزادی های طراحی به همراه دارند. جریان فرایند مبنای تولید SiGe/Si HBT شرح داده می شود،...
پژوهشی در زمینه تکنولوژی فرایند SiGe/Si HBT پژوهشی در زمینه تکنولوژی فرایند SiGe/Si HBT


قیمت قیمت : 12000 تومان
تخفیف تخفیف: 2000 تومان
قیمت نهایی قیمت نهایی: 10000 تومان
1197 بازدید
کد مقاله: TTC- 1- 163
نوع فایل : docx
Journal: Elsevier 2011,

The Research on Process Technology of SiGe/Si HBT
Abstract
SiGe/Si HBT is a novel Si based device, compared with traditional BJT, SiGe/Si HBT has some advantages including high current gain, excellent frequency property and lower noise, energy band engineering and doping engineering introduced bring design freedoms. The fabricating basic process flow of SiGe/Si HBT is described, SiGe material epitaxial process, emitter mesa etching process, N type doping poly silicon and metal silicide fabricating process are studied, and the critical process control method are explored in the paper. The SiGe/Si NPN HBT of maximum current gain β=80 is fabricated by this process flow.
Keywords: SiGe/Si HBT; mesa structure; critical process

چکیده
SiGe/Si HBT یک دستگاه مبتنی بر Si جدیدی است که در مقایسه با BJT، SiGe/Si HBT دارای چندین مزیت شامل بهره ی جریان بالا، مشخصه ی فرکانس عالی و نویز کمتر است و مهندسی باند انرژی و مهندسی دوپینگ (ناخالص سازی) معرفی شده، آزادی های طراحی به همراه دارند. جریان فرایند مبنای تولید SiGe/Si HBT شرح داده می شود، فرایند همبافت ماده ی SiGe، فرایند قلم زنی (اچ) تپه ای امیتر، فرایند تولید پلی سیلیکون دوپینگ نوع N و سیلیسید (ترکیب دو ظرفیتی سیلیکون) فلزی مورد مطالعه قرار می گیرند و روش کنترل فرایند بحرانی در این مقاله شرح داده می شود. SiGe/Si NPN HBT ماکزیمم بهره ی جریان β=80 is توسط این جریان فرایند تولید می شود.
کلمات کلیدی: ساختار تپه ای، فرایند بحرانی

تعداد صفحات انگلیسی تعداد صفحات انگلیسی:5 صفحه
تعداد صفحات فارسی تعداد صفحات فـارسـی:8 صفحه

تماس با پشتیبانی فروشگاه ترجمه‌های تخصصی

نام و نام خانوادگی*
پست الکترونیکی*
موضوع پیام*
متن پیام*
اطلاعات تماس با فروشگاه ترجمه‌های تخصصی


فروشگاه ترجمه‌های تخصصی
پست الکترونیک :info@ttsell.ir
پست الکترونیک :mailttsell@gmail.com
شماره تلفن تماس:09355907190
کانال تلگرام : t.me/ttsell

  • آدرس: تبریز، خیابان  خاقانی، پاساژ خاقانی، پلاک 119
  • تلفن  تماس: 09355907190
  • تلفن  ثابت : 35250068-041
  •  Mailttsellاین آدرس ایمیل توسط spambots حفاظت می شود. برای دیدن شما نیاز به جاوا اسکریپت دارید : آدرس  ایمیل
  • @ttsell:آدرس تلگرام
فروشگاه ترجمه‌های تخصصی از  سال  1387شروع به کار نموده است  و تا کنون بیش از ده هزار ترجمه در رشته ها و زمینه های مختلف توسط متخصصین این مرکز انجام  شده  است.
Scroll to top